石墨舟为什么要饱和

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舟的饱和程度足够且内壁上沉积的氮化硅膜不是很厚，使得镀膜的均匀性表现良好，是石墨舟的最佳状态。而石墨舟使用后期，由于内壁上沉积的氮化硅很厚，会导致局部氮化硅膜脱落，引起舟的表面状态发生变化，并且氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化，局部过厚会引起色差偏的产生。因此石墨舟饱和程度不够和石墨舟使用次数太多都会使镀膜的均匀性变差。

石墨舟使用次数太多会使内壁沉积过厚的氮化硅膜，就需要将石墨舟内壁表面的氮化硅膜洗掉，重新进行饱和工艺之后再运行工艺。随着技术发展，工艺过程中对氮化硅膜厚度的要求越来越厚，以及设备功率越来越大，会增加洗舟次数，降低石墨舟的寿命。

为了提高镀膜的均匀性，延长石墨舟的使用寿命，在石墨舟饱和工艺中采用先镀一层SiC膜，然后再渡一层SiNx膜的处理方法，可以有效的降低色差片的比例，增加合格率，SiC膜具有保护石墨舟的作用，可以延长石墨

18小时前

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