160型单晶炉详细介绍

是非之處 29天前 已收到1个回答 举报
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该160型单晶炉详细介绍如下：

直拉法单晶炉的工作原理是向单晶炉石英坩埚内加入一定量的多晶硅后加热石英坩埚到多晶硅熔融温度之上，熔融的多晶硅充满在石英坩埚中成硅熔体，之后慢速降低加热功率，对硅熔体降温后单晶炉籽晶通过提拉机构向下运动，籽晶杆前段的夹头夹持籽晶，从单晶炉上端向下浸入硅熔体内。

由于籽晶与硅熔体的固液界面附近的硅熔体维持一定过冷度，在一定温度下硅熔体沿籽晶周围按照籽晶晶向结晶。

15小时前

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