销孔和通孔的区别

天使小东东 2个月前 已收到1个回答 举报

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销孔,读音xiāo kǒng ,汉语词语,基本意思为穿销钉或螺栓的孔。

通孔,与其他双重曝光工艺不同,PAU工艺并不直接提供额外的图形分辨率。图形分辨率只在第一次曝光时获得,第二次曝光(unpack曝光)只是在密集阵列中选择所需要的通孔 。

该方法的主要困难是如何固化第一层光刻胶,即必须避免旋涂第二层光刻胶时对第一层胶的损伤,以及在第二次显影时对第一层胶的影响。为此提出了两种解决方案:其一,两种光刻胶使用不同的溶剂,且第一层光刻胶不溶于第二层光刻胶的溶剂。第一层光刻胶可溶于乙醇,而不溶于PGMEA。其二,使用紫外固化工艺固定第一层光刻胶图形,固化工艺使第一层光刻胶非常牢固,使其不被第二层光刻胶溶剂所溶解

13小时前

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