光驰镀膜机工作原理

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镀膜机光控原理是：利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

监控方法：在镀膜过程中，膜层厚度增加后，其透过率或者反射率跟着变化，当到达极值点时其光学厚度为监控波长的1/4，利用这个控制膜厚。晶控法监控膜厚的原理为利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理，通过仪表监控频率控制膜厚的。

16小时前

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光学镀膜机由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成,其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是镀膜机的主体,镀膜过程就是在真空罐中完成的,通过连接阀将真空罐和排气系统相连。为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量,在工作时,必须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统...

14小时前

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