晶圆切割如何解决面崩

冰隐道长 1个月前 已收到1个回答 举报

似风温柔 2星

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解决办法:在初期chipping应当详细检查刀片的安装精度问题,技术人员还应当做好休整刀片同心度以及重新进行预切割。循环chipping,要详细检查刀刃表面是否有废料的冲击痕迹,在肉眼无法观察的情况下,需要使用显微镜详细观察刀刃表面是否存在有颗粒物以及义务粘连;至于其他chipping,对此就需要增加贴膜后烘烤温度和时间,要根据工件的材质以此调整其适合的加工参数。

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