名为余念 2星
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1ml/min=1sccm
sccm是体积流量单位,
SCCM是标准立方米每分钟的缩写,是指在标准状态(即1个大气压,25℃)下每分钟1立方厘米(1ml/min)的流量,也就是说,SCCM是质量流量单位,不同于一般的流量单位。例如,1cc/sec是单位时间内通过的体积,而质量流量是单位时间内通过的气体摩尔数。这个单位通常用于化学反应,如CVD,为了精确控制原子组成比(理想气体公式:PV=NRT,在标准状态下,气体体积比等于摩尔比,所以只要控制气体的质量流量比,它等于反应气体的摩尔比)
8小时前
回答问题
泄漏量sccm是什么单位
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