红尘刺命脉 3星
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金属与硅生成的化合物。
常分成两大类:(1)难熔金属硅化物,指周期表IVB、VB、VIB族元素的硅化物,如硅化钛、硅化锆、硅化钽、硅化钨等;(2)贵金属和近贵金属硅化物,如硅化钯、硅化铂、硅化钴等。其共同特点是:熔点高(大都在1500℃以上),最低共熔温度高(大都在1000℃以上)。电阻率低(约为10-7Ω·m),硬度高。
多在超大规模集成电路中使用,如用作金属栅、肖特基接触、欧姆接触等。
制备方法主要是用淀积金属与硅的混合物烧结而成。淀积法主要有:蒸发、溅射、电镀、化学气相淀积等。
1小时前
回答问题
请简单介绍金属硅化物特性及主要用途 谢谢
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