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1.本质不同:蒸馏水是蒸馏制成的纯水；去离子水是去除离子杂质后的纯水。
2.不同的形成方式：去离子水几乎是通过离子交换树脂去除水中的离子杂质获得的纯水。蒸馏水是将源水煮沸，蒸发冷凝回收。这个过程会消耗大量的热能。
3.功能不同:蒸馏水不导电，可以保证机器的稳定运行，延长电器的使用寿命。去离子水多为化学实验室用水，用于一般实验室的常规试验。
4、用途不同：蒸馏水主要用于生活、制药行业和实验室；去离子水主要用于实验室、电子工业生产和石化工业。去离子水在现代工业中应用广泛。由于去离子水中的离子数可以人工控制，因此可以很好地控制其电阻率、溶解度、腐蚀性、病毒细菌等指标。因此，在工业生产和实验室实验中，去离子水回事参数的使用更接近理想数据，产品质量更容易控制。
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