单晶炉加料步骤

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1.清炉、装炉；

2.抽空、充气、预热；

3.化料、引晶；

4.生长细颈；

5.扩肩及氮气的充入；

6.转肩、保持及夹持器释放；

7.收尾、停炉清炉、装炉：清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴，调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中；将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处，然后将其安装到上轴末端，进行多晶料的对中；将籽晶装入籽晶夹头上，然后将其安装到下轴顶端；关闭各个炉门，拧紧各紧固螺栓

14小时前

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