讨厌强吻 3星
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光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。
在光刻胶工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻胶。
简单的说,在光刻过程中,我们通过光源,如:紫外光,将线路图投射在光刻胶上,通过光蚀刻,使得线路图清晰的出现在硅晶片上,再通过药水洗掉未蚀刻的部分,后经刻蚀工艺最终呈现晶体管结构,完成芯片封装前制造。
因此,光刻胶的主要功能就是将设计线路投射在硅片上的媒介,工艺有点像我们刻印章。
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