真空镀膜机为什么会越来越慢

超咱僾祢 3个月前 已收到1个回答 举报

那句分手 3星

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1、扩散泵不给力了 用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限

2、系统有微漏 慢慢检漏吧,看看保真空时间达不达标

3、箱体太脏 太脏放气量就大了

4、前级不行 机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行,可以用电阻规单独检测前级管道。

21小时前

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