那句分手 3星
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1、扩散泵不给力了 用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限
2、系统有微漏 慢慢检漏吧,看看保真空时间达不达标
3、箱体太脏 太脏放气量就大了
4、前级不行 机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行,可以用电阻规单独检测前级管道。
21小时前
回答问题
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