单晶炉热检漏率高怎么处理

奥特曼超人 3个月前 已收到1个回答 举报
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瘦成闪电侠 2星

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我不知道你们使用的是什么型号的单晶炉，大体的流程给你说一下：

①、 工序复位，由自动改为手动状态。

②、 关闭功率，关闭埚转。

③、 停止氩气供应，关上手动阀和主真空泵，保证冷却水的供应。

④、 快速下降坩埚使液面距离导流筒150mm。

⑤、 观察是否有大量水蒸气产生。

⑥、 在熔体结晶9分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。

⑦、 停炉，充分冷却后拆炉。

21小时前

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